高端電子工藝裝備

【1】集成電路裝備

産業介紹:電控公司的集成電路裝備以七星電子(北方微)(A股代碼:002371)爲載體,借助上市平台和國家重大科技專項加快産業發展,産品以集成電路設備爲主,並結合市場需求向光伏、先進封裝、LED、MEMS、光波導、功率器件和化合物半導體等應用領域拓展。七星電子(北方微)先後承擔11項國家重大科技02專項,技術水平快速提升,填補了國內12英寸高端刻蝕機、PVD、CVD、氧化爐、清洗機等設備技術空白,大部分産品實現了28nm的産業化認證,刻蝕機、PVD已開始14nm技術的研發。技術能力達到同技術代國際主流裝備水平。

 

12英寸28nm刻蚀机、PVD、氧化炉等设备均已进入了中芯国际和上海华力国内集成电路制造领军企业大生产线,多款产品已成为LED、先进封装、MEMS等泛半导体领的主流产品,市场开拓工作成效显著,刻蚀机产品成功打入台湾市场。其中12英寸、28nmHardMask PVD设备及12英寸55nm硅刻蚀设备已作为中芯国际的Baseline设备,代表了国内设备的最高水平。

重要産品:刻蝕設備(Etch)、化學氣相沈積設備(CVD)、物理氣相沈積設備(PVD)立式爐、LPCVD、超精細清洗機、ALD設備。

 

 

【2】锂電裝備

北京電控可提供全套的锂離子電池極片生産所需的攪拌、塗布、輥壓、分切設備,技術處于國內領先水平,接近國際同期水平。

 

成功研制大容量的(400L、600L、800L、1000L、2000L)攪拌設備,已掌握自動上料技術、攪拌過程程序化控制、攪拌料評價等技術;成功開發出了擠出式塗布設備,塗布速度10-20m/min(最高水平達到30m/min)。成功開發出了液壓伺服輥壓設備,極片軋制速度達到20-30m/min(最高水平達到60m/min),掌握了極片熱軋技術、輥電鍍技術、AGC液壓伺服控制型等核心技術。

 

分切設備可分切卷材寬度達700mm,生産效率達到50m/min(最高水平達到80m/min),並開發了設備CCD測控系統(國內唯一)降低了産品廢品率。于此同時,成功的搭建了20000Ah锂離子動力電池中試線,爲自産設備提供了工藝驗證平台,具備提供整線解決方案的能力。